CKD喜开理洁净面板FICS系统的特点及工作原理

FICS系统基于“集成化流体控制+全流程洁净防护"双重逻辑运行，通过元件协同、结构设计与流程管控，实现精准、洁净的流体传输与调控。从整体架构来看，系统以集成面板为载体，内部整合预设的阀组、传感器、控制器等核心元件，形成闭环流体控制链路，外部通过标准化接口与设备主管路、介质源对接，无需复杂管路搭建即可投入使用。在洁净保障原理上，系统从源头规避污染风险，一方面通过洁净室组装与氮气吹扫工艺，清除内部残留的颗粒杂质与油污，组装后立即密封接口防止二次污染；另一方面依托差异化密封结构，Rc螺纹接头通过专用密封带填充间隙，JXR接头依靠金属垫圈挤压密封，双卡套接头通过卡套与管路紧密贴合，实现连接部位无泄漏密封，同时部分型号采用禁油设计与高真空润滑脂，阻断油污侵入与介质泄漏路径，保障流体洁净度与传输安全。在流体控制原理上，系统根据工况需求实现分级调控：搭载AGD-R系列气控阀的型号，通过先导式控制实现流体通路的快速通断，响应及时且动作稳定，适配吹扫、预充等基础场景；搭配FSM3流量传感器与FCM控制器的型号，传感器实时采集流体流量数据并反馈至控制器，控制器自动调节阀组开度，维持流量稳定，适配对参数精度有持续要求的工艺；针对真空场景的型号，通过HVB系列电磁阀实现真空与惰性气体的双向适配，阀瓣自封结构在断开时快速阻断通路，防止空气侵入破坏真空环境。在适配调节原理上，系统通过材质与结构的灵活适配应对不同工况，不锈钢、哈氏合金等壳体材质提升耐腐蚀性，丁腈橡胶、氟橡胶、全氟橡胶等密封件适配不同温度与介质，优化的内部流道布局减少流体传输时的压力损失，兼顾流量效率与运行稳定性，最终实现多场景下的高效、洁净流体控制。