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CKD喜开理净化减压阀RC2000系列的技术参数

更新时间:2025-11-29点击次数:8
在半导体制造、液晶面板生产等对介质洁净度与压力稳定性有要求的领域,气动系统的“净化防护"与“高效调压"成为决定生产良率的关键。CKD喜开理深耕高洁净气动控制领域,针对性推出RC2000系列净化减压阀,将禁油洁净工艺、不锈钢材质应用与紧凑大流量设计融合,同时搭载可逆流机构保障系统安全,为高洁净需求场景提供兼具可靠性与高效性的压力控制解决方案。本文将从产品核心定位、关键技术参数、结构设计亮点、性能优势及选型应用等维度,系统剖析该系列产品的技术特性。

核心定位:高洁净场景的专属压力控制方案

RC2000系列作为CKD喜开理净化类气动元件的产品,核心定位是解决半导体、液晶等制造领域的“洁净+调压"双重需求。与常规减压阀相比,其差异化优势体现在三方面:一是全流程洁净控制,从气体接触部精密清洗到洁净室组装包装,实现全环节无污染;二是紧凑结构与大流量的平衡,面间50mm的小巧尺寸可适配设备狭小空间,同时实现0.8m³/min的大流量输出;三是内置可逆流机构,保障二次侧无压力残留,提升系统安全性。
该系列严格遵循JIS标准与RoHS环保规范,适配压缩空气与氮气两种核心介质,配管口径覆盖Rc1/4、Rc3/8、Rc1/2三种主流规格,可无缝集成至各类高洁净气动系统,成为制造领域的核心压力控制部件。

关键技术参数:构建高洁净场景的性能基石

RC2000系列的优异性能源于精准匹配高洁净需求的参数设计,核心参数围绕“压力控制精度"“洁净等级"“流量输出"三大核心维度展开,不同型号参数协同覆盖多元场景:
介质适配方面,全系列专属适配压缩空气与氮气,契合半导体、液晶制造中清洁气体的压力控制需求。压力性能上,使用压力标准型为1.0MPa,低压型降至0.5MPa,可根据系统压力等级灵活选择;耐压统一达1.5MPa,提供充足安全冗余,有效应对气源瞬时压力波动。设定压力范围呈现分级设计,标准型覆盖0.05~0.7MPa,低压型聚焦0.02~0.2MPa的微压区间,满足从常规控制到精密微压的多元需求,且需注意标准型在0.4MPa以下使用时,一次侧与设定压力差需控制在0.5MPa内,低压型则需控制在0.3MPa内。
环境适应性方面,环境与流体温度适应范围为5~60℃,可稳定运行于洁净车间的恒温环境。流量性能是核心亮点,在一次侧压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa的工况下,流量可达0.8m³/min,远超同尺寸常规产品。重量特性上,不同口径型号差异微小,RC2000-8-P90为0.47kg,RC2000-10-P90为0.45kg,RC2000-15-P90为0.59kg,轻量化设计可降低设备负载。附件重量明确,GY49/Z49压力表附件重90g,B3支撑件重40g,E1接头重5g,便于系统重量核算。

结构设计:洁净与性能的双重保障

RC2000系列的核心优势源于精细化结构设计,从材质选型到功能机构,每一处细节都围绕“高洁净"与“稳定调压"展开,核心结构亮点如下:

1. 洁净核心结构:材质与工艺的全流程把控

气体接触部材质采用高洁净标准,金属部件选用SUS316不锈钢,兼具优异抗腐蚀性与洁净度,避免材质脱落污染介质;树脂部件采用PTFE,橡胶部件选用FKM,均为高洁净领域专用材质。洁净工艺实现全流程覆盖,气体接触部经过精密清洗,从组件组装、性能检测到最终包装均在洁净室内完成,杜绝生产环节的污染风险。同时气体接触部不使用润滑脂,从源头避免油脂污染,契合半导体、液晶制造的严苛洁净要求。
内部核心部件设计精准,膜片组件由SUS316、FKM与SUS303复合制成,既保证压力感应灵敏度,又提升密封性能;阀组件采用SUS316与FKM材质,确保调压过程稳定无泄漏;O形圈选用FKM,在5~60℃温度范围内保持良好弹性与密封性。RC2000-8-P90与RC2000-10-P90的IN侧还装有网状过滤器,进一步提升介质洁净度。

2. 功能与安装优化:可逆流与便捷适配设计

内置可逆流机构是安全核心,当排放一次侧压力时,二次侧压力可向一次侧逆流,确保二次侧不残留压力,大幅提升系统安全性,尤其适用于重视操作安全的高洁净生产场景。安装设计兼顾灵活性与标准化,压力表接口统一为Rc1/8,支持GY49(适配P94洁净规格)与GZ49(适配P90洁净规格)两种压力表安装;配备B3L形支撑件与E1排气处理用接头,可根据安装需求灵活配置,产品默认附带2个R1/8管道堵头,选择压力表附件时则附带1个,减少额外配件采购需求。
外形尺寸经过优化,RC2000-8与RC2000-10型号面板开孔适配MAX4mm厚度面板,RC2000-15型号尺寸稍大,整体结构紧凑,可轻松嵌入设备内部狭小空间,适配高集成度的制造设备。

性能优势:高洁净场景的精准高效控制

基于优质结构与精准参数,RC2000系列在流量特性、压力特性与安全性能上表现突出,契合高洁净场景的动态需求:

1. 流量特性:大流量与稳压力的平衡

流量特性曲线显示,RC2000-8-P90、RC2000-10-P90与RC2000-15-P90在一次侧压力0.7MPa的工况下,随着空气流量从0提升至2m³/min ANR,二次侧压力保持稳定,波动幅度极小,确保大流量输出时压力不漂移。低压型产品在一次侧压力0.3MPa的工况下,流量从0增至1m³/min ANR时,二次侧压力同样保持平稳,适配微压大流量场景,如液晶面板的空气吹气工艺。

2. 压力特性:抗波动能力优异

压力特性测试显示,在二次侧流量25ℓ/min、设定压力0.2MPa的工况下,一次侧压力从0增至1MPa的过程中,二次侧压力始终稳定在设定值附近,无明显波动,可有效抵御气源压力波动对精密工艺的影响,保障半导体芯片制造、液晶光刻等流程的稳定性。

3. 安全特性:无残留与耐腐双重保障

可逆流机构确保二次侧无压力残留,避免设备停机后残留压力导致的误动作风险;SUS316不锈钢阀体与FKM密封件的组合,使其具备优异的抗腐蚀性能,可长期在氮气等惰性气体环境中稳定运行,减少设备维护频率与成本。

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型号解析与选型指南:精准匹配洁净需求

RC2000系列型号编码逻辑清晰,通过“机种-配管口径-选择项-附件-洁净规格"的组合实现精准选型,核心编码规则与选型要点如下:

1. 型号编码规则:RC2000 - 配管口径 - 选择项 - 附件 - 洁净规格

以典型型号“RC2000-8-LN-GY49B3E1-P90"为例,各部分含义明确:“RC2000"为机种型号;“8"代表配管口径Rc1/4(“10"为Rc3/8,“15"为Rc1/2);“L"表示低压型(无符号为标准型),“N"表示无溢流型(无符号为溢流型);“GY49"为P94规格压力表,“B3"为L形支撑件,“E1"为排气处理用接头;“P90"为洁净规格,代表禁油处理且使用不锈钢材料。选择项与附件需按“压力范围-溢流机构-附件"的顺序记载,无相关功能则省略符号。

2. 核心选型要点:洁净规格与功能的精准适配

洁净规格是选型核心,P90为常规洁净规格(禁油+不锈钢),P94为更高洁净规格(接单生产),需根据场景洁净等级选择;压力范围需匹配系统需求,标准型(0.05~0.7MPa)配1.0MPa压力表(G49D-6-P10-P9※),低压型(0.02~0.2MPa)配0.2MPa压力表(G49D-6-P02-P9※);溢流机构按系统是否需要溢流功能选择,无溢流型标注“N";附件根据安装与监测需求搭配,压力表、支撑件、排气接头可自由组合。
特别注意,多个选择项与附件组合时需按规定顺序记载,无相关功能则去掉“-",如基础型可表示为“RC2000-8-P90";NPT螺纹等定制需求需咨询厂家销售人员。

应用场景:制造的洁净压力控制核心

凭借“高洁净+大流量+稳调压"的三重优势,RC2000系列已成为制造领域的核心压力控制元件,典型应用场景包括:
半导体制造设备:在芯片光刻、晶圆搬运等工艺中,P90/P94洁净规格可避免介质污染,稳定的压力控制保障气动机械手动作精度,大流量特性适配设备高频动作需求;液晶制造装置:在面板清洗、切割等流程中,氮气压力控制需兼具洁净与稳定,RC2000系列的介质适配性与压力精度可契合,可逆流机构提升操作安全性;电子元件封装:低压型产品在微压封装工艺中,0.02~0.2MPa的精准控制可避免元件损伤,高洁净材质保障封装质量;空气吹气场景:紧凑结构与0.8m³/min大流量的组合,适用于小型部件的吹气清洁与冷却,如精密电子元件的表面除尘。

结语:以洁净技术赋能制造升级

CKD喜开理RC2000系列净化减压阀通过全流程洁净工艺、不锈钢材质应用、可逆流机构设计及紧凑大流量特性,有效解决了半导体、液晶等制造领域“洁净难"“空间小"“流量需求高"的核心痛点。其精准的压力控制、可靠的安全性能与灵活的适配特性,使其成为制造气动系统的理想选择。在工业生产向“高洁净、高精度"升级的趋势下,RC2000系列正以“洁净稳控"的核心价值,为制造的质量提升与效率优化提供坚实支撑。
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