一、核心测量原理，响应快速灵敏
FSM3系列采用硅微加工技术打造的白金传感器芯片，核心通过热分布变化检测流量。传感器部与硅基板实现热绝缘设计，热容量极小，不仅大幅提升了响应速度，还增强了测量灵敏度。其工作原理为：传感器部内置双温度传感器与中间加热器，无气流时温度分布以加热器为中心对称；有气流时对称性被破坏，上下游温度差转化为电阻值差，随流量变化而变动，逆向流动时温差颠倒，因此可精准检测双向流量，尤其适用于小流量测量场景。响应时间在设定OFF时可低至50msec以下，且响应时间可在50msec~1.5sec间选择，能有效缩短生产间隔时间。
二、测量性能优异，覆盖范围广泛
该系列具备高精度测量能力，显示精度达±3%F.S.以内（二次侧大气开放），重复精度±1%F.S.以内（二次侧大气开放），温度特性±0.2%F.S./℃以内（15~35℃、25℃基准），压力特性±5%F.S.以内，确保在不同工况下测量数据稳定可靠。流量测量范围覆盖极广，单向测量从15mL/min至1000L/min，双向测量可实现-1000~-30mL/min与30~1000mL/min（量程机型）的全范围覆盖，能适配从微小流量到大型流量的各类测量需求。同时支持流量累计与峰值保持功能，累计显示范围可根据机型覆盖0~±9999999mL至0~±9999999L，满足流量统计需求。
三、多气体适配，场景兼容性强
FSM3系列具备强大的气体适配能力，LCD显示型（满量程200L/min以下机型）支持气体种类切换功能，可通过本体按钮切换空气、氮气、氩气、二氧化碳及氩气80%+二氧化碳20%混合气体，切换后模拟输出可自动匹配对应气体特性。同时提供氧气专用机型（本体材质编码5），采用禁油处理规格，专为氧气测量场景设计，需注意氧气型不可选择洁净规格，且通入氧气前需确保未通入其他流体。适用流体需为不含腐蚀成分、灰尘及油雾的干燥气体，压缩空气需符合JIS B 8392-1:2012相关等级要求。
四、显示与输出灵活，功能配置丰富
系列提供两种显示方案：LCD显示型配备4位+4位双色LCD，支持流量数值清晰显示；指示条显示型采用LED指示条，直观反馈流量状态。输出方式多样，模拟输出支持1-5V电压输出（负荷阻抗50kΩ以上）与4-20mA电流输出（负荷阻抗0~300Ω），开关输出可选NPN或PNP集电极开路输出（50mA）。部分机型具备设定复制功能，可通过专用端子快速实现多台设备参数统一，提升批量调试效率。此外，还支持机种判别信号输出，适配系统集成需求。
五、防护等级高，环境适应性强
产品防护等级达IP65，可在尘埃较多或有水滴飞溅的环境下安全使用，适配恶劣工业场景。工作环境温度范围为0~50℃（不得结露），保存温度-10~60℃，环境湿度耐受90%RH以下，压力范围支持-0.09~1.00MPa（部分机型-0.09~0.75MPa），耐压力达1.5MPa，具备较强的环境耐受能力。同时提供洁净规格选项，P70规格采用防发尘包装（洁净工作台1000级以上封装），P80规格额外对气体接触部进行脱脂清洗，适配高洁净需求场景；部分机型支持ATEX对应，符合防爆相关要求。
六、安装便捷，适配性灵活
安装方式灵活多样，支持垂直与水平自由安装，无需严格限制安装方向（纵向安装需注意对流影响）。配管口径选择丰富，涵盖Rc、G、NPT多种螺纹规格，从1/8到1/2不等，可精准匹配不同管路系统。多数机型无需特殊直管导入部，500L/min、1000L/min机型仅需使用内径9mm以上配管即可保障测量精度，大幅降低安装空间与管路设计要求。产品重量轻，不同配管口径机型重量在580~750g之间，便于集成到各类设备中。
七、安全可靠，符合多项标准
内置电源逆接保护回路，可有效防护误接线导致的设备损坏，提升使用安全性。电气性能稳定，绝缘电阻达100MΩ（DC500V兆欧表）以上，符合EMC指令（EN55011、EN61000-6-2等），同时满足RoHS与CE认证要求。核心部件采用高品质材质，传感器本体为SUS316L不锈钢，密封件选用FKM氟橡胶等耐腐蚀材质，确保长期稳定运行，流路中不使用树脂，特别适用于禁止排气的工序场景。
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更新时间：2025-12-29
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