一、核心定位清晰:专属装载·卸载工序适配
GFM-A作为GFM系列的细分型号,核心定位为玻璃基板装载与卸载工序专用,针对性优化了作业稳定性与适配性。其设计匹配装载时的精准放置与卸载时的平稳承接需求,适配基板厚度范围明确为150μm以上,可覆盖主流中厚规格玻璃基板的处理场景。同时,其核心间距参数设定为15、20,能精准匹配常规基板的抓取与放置尺寸,无需额外调整即可快速融入生产线,大幅提升装载卸载环节的效率。
二、结构设计:自适应挠曲与精准微调
采用CKD的“树脂多孔材质+倣形机构"复合设),具备独特的自适应调节能力。该结构可实时追踪大型玻璃基板在移动过程中的挠曲变化,通过摆头式气浮面随基板形态同步微调,实现非接触式稳定气浮,有效避免基板因局部受力不均导致的破损或划痕。标准气浮量可达10μm以上,既能保障基板平稳离地,又能精准控制浮升高度,为装载卸载的精准对位提供支撑。
三、节能与洁净双优:适配精密制造需求
材质选型聚焦节能与洁净特性,采用新型树脂多孔材质,相较于传统气浮模组,耗气量大幅降低1/2(基于CKD实测数据),显著降低生产能耗。同时,该材质具备优异的防静电性能,可有效抑制静电产生,避免静电吸附粉尘或损伤基板;其孔隙结构能防止气浮空气夹带粉屑,洁净等级表现优异,可满足精密电子制造中对洁净环境的严苛要求(测试结果相当于JIS B 9920的Class 4)。
四、宽工况适配:参数稳定且安装灵活
工况适配范围贴合工业实际需求,使用流体限定为压缩洁净空气(等级1.1.1∼1.6.2),气浮时使用压力为80∼200kPa,吸附时为-90∼-60kPa,环境温度适配5∼40℃,存放温度范围为-10∼60℃,可稳定应对常规生产环境。安装方式定多孔面朝上,适配性强;接管口径为M5标准规格,重量仅约15g,且支持CAD应用,便于集成到各类装载卸载装置中,无需额外定制安装结构。
五、系统兼容性强:无缝对接CKD气动生态
具备良好的系统兼容特性,可与CKD全系列气源处理单元(含冷冻式/干燥剂式/高分子膜式干燥机、主管路过滤器等)无缝适配,确保气源品质与气浮性能匹配。同时,能与机械式/电子式压力开关、空气传感器等精密元件协同工作,实现装载卸载过程的压力监控与状态反馈;严格符合RoHS标准,材质不含有害物质,适配现代环保型生产场景。