CKD IAVB217-16K-3属于IAVB系列真空压力控制系统核心机型，φ17mm通径搭配NW16配管规格，控制口默认3号位置（从阀上面看法兰方向），可实现缓慢排气、稳定压力调节及全闭切断动作。本操作方法围绕开机准备、参数设置、运行操作、停机流程及日常维护展开，兼顾安全性与实操性，适配晶片传输、真空脱气等工艺场景。
一、开机前准备
首先完成系统连接与环境检查，确保设备处于可启动状态。配管连接需遵循流向标识，将A口连接至腔室侧，B口连接至真空泵侧，反向连接虽可实现全开全闭动作，但会影响压力控制稳定性，不建议采用。波纹管内部直接与大气连通，需确保控制口正下方两个连接孔无堵塞，避免影响动作性能。
电源连接选用DC24V±10%稳压电源，波动率控制在1%以下，严禁AC直接连接以防故障。阀与专用控制器IAVB-CONT间需使用配套线缆IAVB-VCBL-03（3米规格），不得擅自改造线缆长度或材质，线缆固定时避免锐角弯曲，不用于反复弯曲场景。检查安装环境，需处于室内干燥区域，避开阳光直射、发热体及强磁场，周围无腐蚀性、爆炸性气体，湿度控制在85%以下且无结露。
最后确认机械状态，检查阀体与配管连接是否牢固，无拉伸、压缩、弯曲等外力施加于阀体，法兰部无过大作用力，振动场景下需确保固定结构不向法兰传递扭矩。
二、控制器参数设置
启动控制器电源，待系统自检完成后进入参数设置界面，核心参数需结合工况需求调整，确保与IAVB217-16K-3机型适配。压力控制模式可通过串行通信、触点输入或模拟电压切换，默认支持2点模拟电压输入（DC0-10V、DC0-5V）及1点模拟电压输出（DC0-10V），可根据控制需求选择对应模式。
设定压力范围需契合设备规格，IAVB217-16K-3使用压力区间为1.3×10⁻⁶Pa(abs)至1×10⁵Pa(abs)，使用差压不超过0.1MPa，需在此范围内设定目标压力值。通过控制器面板调节比例参数与积分参数，若压力上升过快可适当减小比例值，若压力上升过慢则增大积分值，优化压力调节响应速度。
通信参数设置需匹配系统架构，采用RS-485通信方式时，确认波特率、地址等参数与上位机一致，避免通信故障。设置完成后保存参数并重启控制器，确保参数生效，同时通过控制器监测界面确认压力反馈信号正常，无异常波动。
三、运行操作流程
参数确认无误后启动系统，先开启真空泵，待真空泵运行稳定后，通过控制器发出运行指令，IAVB217-16K-3阀体将按预设参数启动压力调节。运行初期需密切监测控制器显示的实际压力值，观察是否向目标压力平稳趋近，导率维持在5L/s（分子流域理论值），若压力波动超出可接受范围，需微调比例与积分参数。
运行过程中需关注先导空气压力，维持在0.45至0.55MPa区间，确保阀体动作响应稳定。通过控制器输出信号监测设备状态，2点NPN集电极开路输出可反馈阀开闭状态，若出现异常信号需及时停机检查。
工艺过程中如需调整目标压力，可通过控制器面板或上位机远程修改，调整时采用渐进式调节方式，避免压力突变对腔室及后续工艺造成影响。高频次启停场景下，需预留足够间隔时间，减少设备损耗。
四、停机与紧急处理
正常停机需遵循流程，先通过控制器发出停止指令，待阀体关闭、腔室压力恢复至常压后，关闭真空泵电源，最后切断控制器与总电源。长期停机时，需用氮气等惰性气体净化回路，避免残留介质侵蚀部件。
出现紧急情况时，立即按下控制器急停按钮，系统将快速切断控制信号，阀体自动切换至全闭状态，阻断回路连接。故障排查需先断电泄压，检查电源电压、线缆连接及配管密封性，若泄漏率超出标准，优先检查法兰密封面及O形圈状态，必要时更换密封件。
若出现压力无法达到设定值的情况，需排查配管是否存在堵塞、真空泵性能是否达标，同时检查阀体波纹管及密封结构是否完好，排除泄漏或动作卡滞问题。
五、日常维护要点
定期清洁设备表面及接口，避免粉尘、油污堆积影响密封性能与操作精度，闲置时为接口加装防尘防护，防止杂质侵入。每月检查一次密封件状态，外部密封部O形圈涂覆的真空润滑脂不足时及时补充，发现老化、破损需立即更换同规格原厂配件。
每季度进行一次全面检查，包括线缆连接牢固性、控制器参数稳定性、阀体动作灵活性，测试泄漏率是否符合标准（外部泄漏He不超过1.3×10⁻¹¹Pa·m³/s）。热量聚集场景需定期通风换气，避免设备因高温出现异常停止或寿命缩短。
维护过程中禁止擅自改造阀体结构，拆解操作需使用专用工具，接触毒性、易燃性介质后，需用惰性气体充分净化方可检修，确保操作安全。
操作核心提示
IAVB217-16K-3非紧急遮蔽阀设计，若需安全确保功能，需搭配其他可靠安全措施。运行时严禁堵塞波纹管连通大气的通道，配管布局需尽量缩短长度、增大内径，减少压力损失对控制精度的影响。遵循以上操作方法，可保障系统长期稳定运行，充分发挥其压力控制与回路切断的核心性能。
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更新时间：2026/1/26
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