CKD喜开理工艺气体减压阀PGM-H-60-4R的技术参数

更新时间：2026/1/26

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CKD喜开理PGM-H-60-4R属于PGM系列工艺气体用减压阀，主打高密封性、高耐久与精准流量控制特性，适配蚀刻、成膜等精密工艺场景。该型号通过金属膜片与自由提升结构设计，可实现稳定压力调节，同时防止流体流出，以下为其核心技术参数，全面覆盖介质适配、压力温度耐受、密封性能及结构特性。

型号编码对应核心配置：“PGM"为系列基础标识，“H"代表50L/min(ANR)流量系列，适配中流量工艺气体传输需求；“60"对应二次侧设定压力范围0~0.42MPa，可满足多数工艺气体的压力调节需求；“4R"代表1/4″JXR母接头，采用标准化接口设计，便于与工艺管路适配。

适配流体涵盖惰性气体及各类工艺气体，兼容聚醚多元醇（PAG）等常用工艺润滑剂，可直接融入现有工艺气体回路，无需额外改造管路或配套部件。产品经电解研磨、超精密加工及清洗处理，接触气体部洁净度达标，适配对介质洁净度要求严苛的精密制程场景。

二次侧设定压力范围为0~0.42MPa，支持根据工艺需求精准调节输出压力，调节精度契合精密工艺对压力稳定性的要求，可减少压力波动对工艺效果的影响。使用压力为1.0MPa，耐压力达1.5MPa，能应对工艺气体回路正常运行及压力波动场景，为回路运行提供冗余保障。

压力控制采用金属膜片传感结构，膜片材质为HASTELLOY®C-22，具备优异的耐腐蚀性与压力感知灵敏度，可快速响应压力变化并调整阀芯开度，维持输出压力稳定。压力迟滞表现良好，调节过程中压力切换平滑，无明显波动。

流体温度与环境温度均支持-5~40℃区间稳定运行，可应对精密制程车间的温度变化，密封性能与压力调节精度不受明显影响。保存环境温度需控制在-5~60℃，避免温湿度导致材质老化，尤其需避开高温高湿环境，防止密封件变质影响性能。

温度适应性设计贴合工艺场景需求，核心部件材质在耐受温度范围内可保持结构稳定性，金属膜片与密封件无明显热胀冷缩变形，确保压力调节性能稳定。

密封性能优异，阀座泄漏（He）控制在1.0×10⁻⁸Pa·m³/s以下，外部泄漏（He）不超过2.8×10⁻¹²Pa·m³/s，有效抑制阀闭动作时的二次侧泄漏，避免工艺气体损耗与环境影响。阀座常规采用PFA材质，具备良好的化学稳定性，可适配多种工艺气体，避免介质与密封材料发生反应。

流量性能对应50L/min(ANR)流量系列，Cv值适配该流量等级需求，流路设计优化，压降控制在合理范围，可满足中流量工艺气体的稳定传输。流量特性随一次侧压力变化平缓，建议在流量特性倾斜缓慢的范围内使用，保障流量稳定性。

主体材质采用SUS316L不锈钢，具备优异的耐腐蚀性，可抵御工艺气体长期侵蚀，延长使用寿命。弹簧采用SUS316与Ni-Co合金组合，兼顾弹性性能与耐腐蚀性，确保阀芯复位顺畅与压力调节稳定性。

接口为1/4″JXR母接头，可与VCR接头兼容，适配行业标准化配管需求，降低系统装配与升级的适配成本。产品重量约0.5kg，结构紧凑，适配单体配管安装场景，可灵活集成于工艺气体系统中。实测耐久性达300万次以上，长期使用后仍能保持高控制性与高洁净度。

PGM-H-60-4R的技术参数精准贴合中流量精密工艺气体回路需求，通过稳定的压力调节、优异的密封性能及耐腐材质选型，适配蚀刻、成膜等严苛场景。标准化接口与紧凑结构便于系统集成，高耐久性设计可降低长期使用成本，为工艺气体系统提供精准、可靠的压力控制支撑。

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