日本CKD半导体通用型直驱马达小型(ABSODEX)
ABSODEX 小型直驱马达（AX6000M 系列）是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案，采用无齿轮直驱技术，消除传统传动链的间隙与磨损，实现**±10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括：
小型化：外径 φ80mm、高度 47mm（1.2N・m 机型），重量仅 1.2kg，可直接集成于晶圆检测探头。

日本CKD半导体通用型直驱马达小型(ABSODEX)

日本CKD半导体通用型直驱马达小型(ABSODEX)

一、核心技术架构与产品定位

ABSODEX 小型直驱马达（AX6000M 系列）是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案，采用无齿轮直驱技术，消除传统传动链的间隙与磨损，实现**±10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括：

小型化：外径 φ80mm、高度 47mm（1.2N・m 机型），重量仅 1.2kg，可直接集成于晶圆检测探头、芯片键合头或微型机械臂等空间受限的设备中。

无电池绝对编码器：内置高精度旋转变压器，支持断电后位置记忆，无需原点复位，满足半导体产线 24 小时连续运行需求。

高刚性与负载能力：采用双列角接触球轴承，可承受轴向负载 500N 和径向负载 300N，适用于精密压合、晶圆抓取等动态负载场景。

二、半导体场景适配特性

超洁净环境设计

全密封铝合金壳体，内部填充低发尘润滑脂，运行时发尘量 < 10 particles/ft³（0.5μm 以上颗粒），符合 ISO Class 5 洁净室标准。

可选配 ESD 防静电涂层，表面电阻控制在 10⁶~10⁹Ω，有效避免静电对晶圆的损伤。

高动态响应与精度

AX6001M（1.2N・m）最高转速 240rpm，配合 S 型加减速曲线，可在 0.1 秒内完成晶圆检测探头的启停动作，减少惯性冲击。

分辨率达 540,672 脉冲 / 转，支持与激光干涉仪闭环控制，实现 ±0.05μm 的定位精度。

智能监控与预防性维护

内置扭矩负载率、温度、振动传感器，通过 AX Tools 软件实时监测运行状态，提前预警轴承磨损、绕组过热等潜在故障。

支持远程参数调整与程序更新，可接入 MES 系统实现设备全生命周期管理。

三、驱动与控制解决方案

超小型驱动器设计

标配 MU 型驱动器，采用 DC24V 电源，体积仅手掌大小（80×65×40mm），可直接安装于执行器附近，减少布线复杂度。

支持并行 I/O（NPN/PNP）和 RS-232C 通信，兼容 PLC、运动控制器等主流设备，通信延迟 < 1ms。

智能调试工具链

AX Tools 软件集成 AI 自动调谐功能，可根据负载特性自动优化 PID 参数，将调试时间缩短 60% 以上。

提供可视化编程界面，支持凸轮曲线生成与轨迹模拟，可快速实现螺旋线、椭圆插补等复杂运动路径。

四、典型应用场景

晶圆检测与量测

驱动光学检测探头以 ±10 秒分度精度进行 360° 扫描，配合机器视觉系统实现晶圆表面缺陷的纳米级识别。

在电子束曝光设备中，与激光干涉仪闭环控制，实现 ±0.05μm 的定位精度，满足 EUV 光刻工艺需求。

芯片封装与键合

驱动引线键合头以 240rpm 高速旋转，完成芯片引脚的精准焊接，良率提升至 99.8% 以上。

在倒装芯片封装中，通过高精度扭矩控制（±1% FS），实现凸块与基板的柔性压合，避免应力损伤。

微型机械臂与精密搬运

驱动六轴机械臂在晶圆盒与工艺腔室间实现 ±0.02mm 的重复定位，支持每小时 200 片晶圆的吞吐量。

集成力控算法，可检测晶圆抓取时的微小应力变化，防止碎片风险。

五、技术参数与选型指南

参数项AX6001M（1.2N·m）AX6003M（3.0N·m）

最大扭矩1.2N·m3.0N·m

重复定位精度±10 秒±10 秒

最高转速240rpm240rpm

允许负载惯性力矩0.034kg·m²0.059kg·m²

防护等级IP20IP20

适用环境温度0~40℃0~40℃

驱动器型号AX9000MUAX9000MU

六、安装与维护建议

精密安装规范

安装基面平面度需≤0.02mm/m，建议使用激光干涉仪校准。

采用柔性联轴器（如梅花联轴器），避免刚性冲击损坏编码器。

预防性维护策略

每运行 200 小时检查编码器线缆接口，确保屏蔽接地电阻 < 1Ω。

通过 AX Tools 软件监控电机绕组温度，阈值设置为 80℃（报警）与 90℃（停机）。

七、配套生态与技术支持

全栈开发工具

AX Tools 软件支持梯形图编程、运动轨迹仿真及 FFT 频谱分析，可诊断机械共振并自动生成滤波器参数。

提供 Python API 接口，方便与客户自研控制系统集成。

本地化服务网络

CKD 中国技术中心提供 24 小时热线支持，并可预约现场洁净室安装指导。

提供 3 年延保服务（需签订保养协议），覆盖电机、驱动器及编码器核心部件。

八、与竞品的差异化优势

成本与交付优势

价格较 FANUC αiF 系列低 15-20%，同时保持相近的定位精度（±10 秒 vs ±8 秒），适合中端市场需求。

中国保税仓备货，常规型号交货周期仅 7-10 天，较 Yaskawa Σ-7 系列缩短 60%。

定制化能力

可提供真空兼容版本（内部气压 < 10⁻⁵Pa）及特殊法兰接口，适配半导体工艺腔室环境。

支持多轴同步控制（如 4 轴联动），可定制运动轨迹算法以匹配特定工艺需求。