日本CKD半导体通用型直驱马达(ABSODEX）
AX1R 高精度型：分度精度达 15 秒，轴跳动≤0.01mm，适用于晶圆检测、芯片键合等精密场景。
AX2R 高速型：最高转速 300rpm，响应时间 < 5ms，支持高速旋转工作台与电子元件高速搬运。AX4R 大扭矩型：最大扭矩 1000N・m，可驱动大惯性负载，适用于晶圆传输机械臂与封装设备，提供电磁制动选项。

日本CKD半导体通用型直驱马达(ABSODEX)

日本CKD半导体通用型直驱马达(ABSODEX)

一、核心技术架构与产品体系

ABSODEX 作为 CKD 专为半导体制造研发的直驱马达，采用无齿轮直驱技术，消除传统传动链的间隙与磨损问题，实现纳米级定位精度与免维护运行。其产品矩阵覆盖四大系列：

AX1R 高精度型：分度精度达 ±15 秒，轴跳动≤0.01mm，适用于晶圆检测、芯片键合等精密场景。

AX2R 高速型：最高转速 300rpm，响应时间 < 5ms，支持高速旋转工作台与电子元件高速搬运。

AX4R 大扭矩型：最大扭矩 1000N・m，可驱动大惯性负载，适用于晶圆传输机械臂与封装设备，提供电磁制动选项。

AX7000X 超高精度型：分度精度 ±2 秒，分辨率 419 万脉冲 / 转，等速旋转波动≤0.06°，专为纳米级对位置换设计。

所有型号均标配无电池绝对编码器，支持断电后位置记忆，无需原点复位，满足半导体产线连续运行需求。

二、半导体场景适配特性

超洁净环境设计

全密封铝合金壳体，内部填充低发尘润滑脂，运行时发尘量 < 10 particles/ft³（0.5μm 以上颗粒），符合 ISO Class 5 洁净室标准。

可选配 ESD 防静电涂层，表面电阻控制在 10⁶~10⁹Ω，有效避免静电对晶圆的损伤。

防护等级达 IP65，部分型号符合 ATEX 防爆认证（Ex d II B T4 Gb），适用于高风险工艺环境。

高动态响应与精度

AX1R 系列重复定位精度 ±5 秒，配合高精度分割算法，可实现晶圆级封装中 ±1μm 的贴装精度。

AX2R 系列支持 S 型加减速曲线，在 300mm 晶圆传输中实现 0.1 秒内的启停控制，减少惯性冲击。

AX7000X 系列采用高刚性轴承，轴刚度提升 30%，可承受轴向载荷 500N，适用于精密压合工艺。

智能监控与预防性维护

内置扭矩负载率、温度、振动传感器，通过 AX Tools 软件实时监测运行状态，提前预警潜在故障（如轴承磨损、绕组过热）。

支持远程参数调整与程序更新，可接入 MES 系统实现设备全生命周期管理。

三、驱动与控制解决方案

多协议兼容驱动系统

标配 TS/TH 型驱动器，支持 EtherCAT、Profinet、CC-Link IE TSN 等工业以太网协议，通信周期低至 100μs。

新增网络运行模式（直接输入模式），可通过上位控制器直接发送位置指令，减少 PLC 处理延迟。

支持多轴同步控制（如 4 轴联动），可定制运动轨迹算法以匹配特定工艺需求。

智能调试工具链

AX Tools 软件集成 AI 自动调谐功能，可根据负载特性自动优化 PID 参数，将调试时间缩短 60% 以上。

提供可视化编程界面，支持凸轮曲线生成与轨迹模拟，可快速实现复杂运动路径（如螺旋线、椭圆插补）。

四、技术参数与选型指南

高精度型（AX1R-022）

最大扭矩：22N・m

重复定位精度：±5 秒

最高转速：240rpm

允许负载惯性力矩：0.6kg・m²

高速型（AX2R-018）

最大扭矩：18N・m

重复定位精度：±10 秒

最高转速：300rpm

允许负载惯性力矩：0.5kg・m²

大扭矩型（AX4R-10W）

最大扭矩：1000N・m

重复定位精度：±20 秒

最高转速：120rpm

允许负载惯性力矩：100kg・m²

超高精度型（AX7000X-050）

最大扭矩：50N・m

分度精度：±2 秒

分辨率：419 万脉冲 / 转

等速旋转波动：±0.06°

五、安装与维护建议

精密安装规范

安装基面平面度需≤0.02mm/m，建议使用激光干涉仪校准。

采用柔性联轴器（如梅花联轴器），避免刚性冲击损坏编码器。

预防性维护策略

每运行 200 小时检查编码器线缆接口，确保屏蔽接地电阻 < 1Ω。

通过 AX Tools 软件监控电机绕组温度，阈值设置为 80℃（报警）与 90℃（停机）。

每 6 个月清洁电机散热孔，避免粉尘堆积影响散热。

六、配套生态与技术支持

全栈开发工具

AX Tools 软件支持梯形图编程、运动轨迹仿真及 FFT 频谱分析，可诊断机械共振并自动生成滤波器参数。

提供 Python API 接口，方便与客户自研控制系统集成。