CKD日本喜开理半导体电动执行器ETS
一、核心定位与技术架构
ETS 系列是 CKD 集团面向工业自动化领域推出的高性能电动执行器，采用滚珠丝杠驱动技术，定位为中高负载、高精度、高速度的通用型直线运动解决方案。与 CKD 另一款低发尘型 ECS 系列形成互补，ETS 更侧重工业环境下的耐用性与动力输出，适用于半导体制造、汽车装配、物流搬运等场景。

CKD日本喜开理半导体电动执行器ETS

CKD日本喜开理半导体电动执行器ETS

一、核心定位与技术架构

ETS 系列是 CKD 集团面向工业自动化领域推出的高性能电动执行器，采用滚珠丝杠驱动技术，定位为中高负载、高精度、高速度的通用型直线运动解决方案。与 CKD 另一款低发尘型 ECS 系列形成互补，ETS 更侧重工业环境下的耐用性与动力输出，适用于半导体制造、汽车装配、物流搬运等场景。

二、产品矩阵与核心参数

1. ETS-05

负载能力：水平方向最大 10kg，垂直方向 7kg

行程范围：50-800mm（50mm 间隔递增）

速度：最高 500mm/s（导程 2mm 时），支持 250mm/s（导程 5mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm（C7 级滚珠丝杠）

本体尺寸：宽度 51mm，高度 45mm

适用马达：100W 伺服马达，支持多品牌兼容

2. ETS-06

负载能力：水平方向 30kg（导程 2mm 时）或 10kg（导程 5mm 时），垂直方向 15kg（导程 2mm 时）或 5kg（导程 5mm 时）

行程范围：50-800mm

速度：最高 500mm/s（导程 2mm 时），支持 250mm/s（导程 5mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 65mm，高度 56mm

适用马达：100W 伺服马达，支持多品牌兼容

3. ETS-10

负载能力：水平方向 50kg（导程 2mm 时）或 30kg（导程 5mm 时），垂直方向 12kg（导程 2mm 时）或 8kg（导程 5mm 时）

行程范围：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（导程 10mm 时），支持 500mm/s（导程 5mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 102mm，高度 66mm

适用马达：100W 或 200W 伺服马达，支持多品牌兼容

4. ETS-12

负载能力：水平方向 50kg（导程 2mm 时）或 30kg（导程 5mm 时），垂直方向 12kg（导程 2mm 时）或 8kg（导程 5mm 时）

行程范围：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（导程 10mm 时），支持 500mm/s（导程 5mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 102mm，高度 66mm

适用马达：200W 伺服马达，支持多品牌兼容

5. ETS-13

负载能力：水平方向 70kg（导程 5mm 时）或 47kg（导程 10mm 时），垂直方向 17kg（导程 5mm 时）或 12kg（导程 10mm 时）

行程范围：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（导程 10mm 时），支持 500mm/s（导程 5mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 135mm，高度 93mm

适用马达：200W 伺服马达，支持多品牌兼容

6. ETS-14

负载能力：水平方向 95kg（导程 5mm 时）或 75kg（导程 10mm 时），垂直方向 27kg（导程 5mm 时）或 18kg（导程 10mm 时）

行程范围：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（导程 10mm 时），支持 500mm/s（导程 5mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 135mm，高度 93mm

适用马达：400W 伺服马达，支持多品牌兼容

7. ETS-17

负载能力：水平方向 120kg（导程 5mm 时）或 110kg（导程 10mm 时），垂直方向 50kg（导程 5mm 时）或 30kg（导程 10mm 时）

行程范围：50-1500mm

速度：最高 2000mm/s（导程 20mm 时），支持 1000mm/s（导程 10mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 170mm，高度 108mm

适用马达：750W 伺服马达，支持多品牌兼容

8. ETS-22

负载能力：水平方向 150kg（导程 5mm 时）或 120kg（导程 10mm 时），垂直方向 55kg（导程 5mm 时）或 20kg（导程 10mm 时）

行程范围：50-1500mm

速度：最高 2000mm/s（导程 25mm 时），支持 1250mm/s（导程 10mm 时）

精度：重复定位精度 ±0.02mm

本体尺寸：宽度 220mm，高度 134mm

适用马达：750W 伺服马达，支持多品牌兼容

参数说明

负载与速度关系：负载能力随导程增大而降低（例如 ETS-17 在导程 5mm 时水平负载 120kg，导程 20mm 时降至 35kg）。

多导程选项：部分型号（如 ETS-10、ETS-17）支持多种导程（2/5/10/20mm 等），可根据具体应用需求选择。

维护设计：

外置润滑系统：无需拆解本体即可直接润滑导轨与滚珠丝杠，维护工时减少 50% 以上。

可视化维护：可选配润滑脂更换指示器，实时监控维护周期。

环境适应性：

防护等级：IP54 标准防护，可抵御粉尘与液体飞溅。

温度范围：-10℃至 + 60℃，适配恶劣工业环境。

选型建议

高负载场景：优先选择 ETS-17 或 ETS-22，其水平负载能力达 150kg，适合汽车装配、物流搬运等重负载作业。

高精度需求：所有型号均支持 ±0.02mm 重复定位精度，可满足半导体封装、精密焊接等场景。

多品牌兼容性：ETS 系列支持 13 家主流伺服马达品牌（如三菱、安川、台达），客户可自由搭配驱动系统。

模块化设计

架构：支持 13 家主流伺服马达品牌（如三菱、安川、台达），客户可自由搭配驱动系统，兼容 EtherCAT、PROFINET 等工业总线。

多轴联动能力：ETS Multi Axis 系列支持直线 / 圆弧插补，可构建高精度运动平台。

三、技术优势与创新设计

维护友好性

外置润滑系统：通过独立注油口直接润滑导轨与滚珠丝杠，无需拆解本体，维护工时减少 50% 以上。

可视化维护：可选配润滑脂更换指示器，实时监控维护周期。

环境适应性

宽温域运行：工作温度范围 - 10℃至 + 60℃，适恶劣工业环境。

防护等级：IP54 标准防护，可抵御粉尘与液体飞溅，适合车间开放式布局。

成本优化

轻量化设计：铝合金与铁合金混合结构，在保证刚性的同时降低整机重量，减少安装支架成本。

能耗控制：伺服马达按需匹配功率，比传统气动系统节能 30% 以上。

四、行业应用与典型案例

半导体制造

晶圆搬运：ETS-14-P4 型号在某存储芯片工厂中，以 1000mm/s 速度实现晶圆盒的高精度上下料，年故障率低于 0.1%。

封装测试：多轴联动系统用于引线键合设备，定位精度达 ±0.015mm，支持 24 小时连续作业。

汽车装配

动力总成安装：ETS-22 在某新能源汽车工厂中，以 2000mm/s 速度完成电机与变速箱的自动化装配，节拍时间缩短至 12 秒 / 台。

焊接机器人：与协作机器人集成，用于车身点焊，轨迹重复精度达 ±0.02mm，提升焊接一致性。

物流仓储

AGV 顶升机构：ETS-17-P4 搭载于某电商仓库的 AGV 上，实现货架的快速升降，单次作业时间较传统液压系统缩短 40%。

分拣系统：多轴联动平台用于高速分拣机，支持 60 件 / 分钟的分拣效率，准确率达 99.99%。

五、认证体系与合规性

国际认证

CE 认证：符合欧盟机械指令（2006/42/EC）与低电压指令（2014/35/EU），可无障碍进入欧洲市场。

ATEX 认证：部分型号通过防爆认证，适用于化工、油气等高风险环境。

行业标准

食品级合规：FP 系列（ETS 衍生型号）采用 NSF H1 食品级润滑脂，通过 FSSC22000 认证，可用于乳制品、烘焙等生产线。

半导体行业标准：P4 系列满足 SEMI S2-0716 安全规范，适用于无尘室环境。