日本CKD半导体直驱马达高精密型(ABSODEX)
ABSODEX 小型直驱马达（AX7000 系列）是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案，采用无齿轮直驱技术，消除传统传动链的间隙与磨损，实现177;10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括：
小型化：外径 φ80mm、高度 47mm（1.2N・m 机型），重量仅 1.2kg。

日本CKD半导体直驱马达高精密型(ABSODEX)

日本CKD半导体直驱马达高精密型(ABSODEX)

一、全系列技术架构与产品矩阵

1. AX1000T 高精度型：分度精度 ±15 秒，轴跳动≤0.01mm，支持晶圆检测、芯片键合等精密场景。

2. AX2000T 高速型：最高转速 300rpm，响应时间 < 5ms，适用于电子元件高速搬运与晶圆传输。

3. AX4000T 大扭矩型：最大扭矩 1000N・m，可驱动大惯性负载，提供电磁制动选项，适配封装设备与机械臂。

4. AX6000M 迷你型：行业最小尺寸 φ80mm，重量 1.2kg，集成于空间受限的检测探头或微型机械臂。

5. AX7000X 超高精度型：分度精度 ±2 秒，分辨率 419 万脉冲 / 转，专为 EUV 光刻等纳米级对位置换设计。

二、半导体场景核心适配特性

1. 超洁净环境设计

• 全密封铝合金壳体，内部填充低发尘润滑脂，运行时发尘量 < 10 particles/ft³（0.5μm 以上颗粒），符合 ISO Class 5 洁净室标准。

• 可选 ESD 防静电涂层（表面电阻 10⁶~10⁹Ω）与真空兼容版本（内部气压 < 10⁻⁵Pa），适配工艺腔室环境。

• 防护等级达 IP65，部分型号通过 ATEX 防爆认证（Ex d II B T4 Gb），适用于高风险工艺。

2. 动态响应与精度突破

• AX7000X 系列等速旋转波动≤0.06°，配合激光干涉仪闭环控制，可实现 ±0.05μm 定位精度。

• AX2000T 系列支持 S 型加减速曲线，在 300mm 晶圆传输中实现 0.1 秒启停控制，减少惯性冲击。

• AX4000T 系列采用双列角接触球轴承，可承受轴向负载 500N，适用于精密压合工艺。

3. 智能监控与预防性维护

• 内置扭矩负载率、温度、振动传感器，通过 AX Tools 软件实时监测状态，提前预警轴承磨损、绕组过热等潜在故障。

• 支持 FFT 频谱分析，自动诊断机械共振并生成滤波器参数，将调试时间缩短 60% 以上。

三、驱动与控制解决方案

1. 多协议兼容驱动系统

• TS/TH 型驱动器：支持 EtherCAT、Profinet、CC-Link IE TSN 等工业以太网协议，通信周期低至 100μs，支持多轴同步控制（如 4 轴联动）。

• MU 型驱动器：采用 DC24V 电源，体积仅 80×65×40mm，可直接安装于执行器附近，减少布线复杂度。

• 网络运行模式：通过上位控制器直接发送位置指令，减少 PLC 处理延迟，实现柔性路径规划。

2. 智能调试工具链

• AX Tools 软件集成 AI 自动调谐功能，根据负载特性优化 PID 参数，支持凸轮曲线生成与轨迹模拟。

• 提供 Python API 接口，方便与客户自研控制系统集成，支持梯形图编程与运动轨迹仿真。

四、典型应用场景

1. 晶圆检测与量测

• AX1000T 驱动光学探头以 ±15 秒分度精度 360° 扫描，配合机器视觉实现晶圆表面缺陷纳米级识别。

• AX7000X 在电子束曝光设备中，与激光干涉仪闭环控制，实现 ±0.05μm 定位精度。

2. 芯片封装与键合

• AX2000T 驱动引线键合头以 300rpm 高速旋转，完成芯片引脚焊接，良率提升至 99.8% 以上。

• AX4000T 通过高精度扭矩控制（±1% FS），实现倒装芯片凸块与基板的柔性压合。

3. 微型机械臂与精密搬运

• AX6000M 驱动六轴机械臂在晶圆盒与工艺腔室间实现 ±0.02mm 重复定位，支持每小时 200 片晶圆吞吐量。

• 集成力控算法，检测晶圆抓取时的微小应力变化，防止碎片风险。

五、技术参数与选型指南

六、安装与维护策略

1. 精密安装规范

• 安装基面平面度≤0.02mm/m，建议使用激光干涉仪校准。

• 采用柔性联轴器（如梅花联轴器），避免刚性冲击损坏编码器。

2. 预防性维护方案

• 每运行 200 小时检查编码器线缆接口，确保屏蔽接地电阻 < 1Ω。

• 通过 AX Tools 监控电机绕组温度，阈值设置为 80℃（报警）与 90℃（停机）。

• 每 6 个月清洁散热孔，避免粉尘堆积影响散热，真空环境下需额外检查密封性能。

七、差异化竞争优势与技术支持

1. 成本与交付优势

• 价格较 FANUC αiF 系列低 15-20%，中国保税仓备货，常规型号交货周期仅 7-10 天。

• 提供 3 年延保服务（需签订保养协议），覆盖电机、驱动器及编码器核心部件。