日本CKD半导体电动执行器小型带导杆型DMSDG缓冲机制：内置螺旋弹簧机构，在到达目标位置时通过弹簧压缩吸收冲击，可将压装冲击力控制在 0.5N 以内（DMSDG-16 实测值），适配脆弱光学元件或微...

日本CKD半导体电动执行器 带导杆型GSTS采用滚珠丝杠 + 皮带传动，支持 16 级速度调节（5~500mm/s）和 64 点位置细分，可满足半导体晶圆微米级定位需求（如检测设备中探头的精密移动）。...

日本CKD半导体电动执行器旋转型FGRC采用蜗轮 + 皮带传动，支持 16 级速度调节（20~200°/s）和 10 级位置细分，可满足半导体晶圆微米级定位需求（如检测设备中传感器的精密旋转...

日本CKD半导体电动执行器滑台型FLCR采用滚珠丝杠 + 皮带传动，支持 16 级速度调节（5~300mm/s）和 10 级位置细分，可满足半导体晶圆微米级定位需求（如检测设备中传感器的精密移动）。搭...

日本CKD半导体电动执行器双夹爪夹持型FLSH电动驱动精准可控：区别于气动夹爪的 “刚性夹持”，FLSH 系列通过伺服电机驱动，支持16 级夹持力调节（最小调节单位 1N）和无级速度调节（5~50mm...

日本CKD半导体电动执行器3夹爪夹持型DCKW高精度定心夹持：3 夹爪呈 120° 对称分布，相比 2 夹爪能自动对中工件（定心≤0.02mm），尤其适合圆形 / 环形工件（如轴承、齿轮、密...

日本CKD半导体电动执行器GCKWGCKW 系列采用三爪联动卡盘设计，单侧行程达 3mm（总行程 6mm），最大夹持力 29N，可稳定抓取 φ16~φ100mm 的晶圆或圆柱形工件。其重复定位精度达 ...

日本CKD半导体电动执行器FFLDFFLD 系列提供50mm、100mm、160mm三种单侧行程选择（总行程分别为 100mm、200mm、320mm），其中 FFLD-50 型单侧行程达 80mm，...

日本CKD半导体电动执行器滑块型ELCRELCR 系列是 CKD 面向精密制造、电子半导体及自动化检测领域推出的滑块型电动执行器，以 “紧凑结构 + 高精度控制 + 长寿命运行” 为核心设计目标。其采...

日本CKD半导体电动执行器滑块型ERL2ERL2 系列是 CKD 专为半导体制造场景研发的步进电机驱动型直线执行器，采用带滚珠保持器的线性导轨与带润滑辅助装置的滚珠丝杠组合，实现高精度、高刚性与长期免...

日本CKD半导体直驱马达高精密型(ABSODEX)ABSODEX 小型直驱马达（AX7000 系列）是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案，采用无齿轮直驱技术，消除传统传动链的间...

日本CKD半导体通用型(ABSODEX)ABSODEX 小型直驱马达（AX6000M 系列）是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案，采用无齿轮直驱技术，消除传统传动链的间隙与磨损...