日本CKD半导体电动执行器滑块型ERL2
ERL2 系列是 CKD 专为半导体制造场景研发的步进电机驱动型直线执行器，采用带滚珠保持器的线性导轨与带润滑辅助装置的滚珠丝杠组合，实现高精度、高刚性与长期免维护特性。其核心设计聚焦以下维度

日本CKD半导体电动执行器滑块型ERL2

日本CKD半导体电动执行器滑块型ERL2

一、核心技术架构与产品定位

1. 超紧凑结构：控制器体积达行业最小级别（EC07 型仅 120×35×68mm），支持多轴密集安装，适配半导体设备空间限制。

2. 智能自动识别：控制器可自动识别执行器型号与参数，无需人工配置，大幅缩短调试时间（较传统型号减少 70%）。

3. 高动态响应：最高速度达 600mm/s，支持 S 型加减速曲线，满足晶圆传输、检测等场景的快速启停需求。

二、半导体场景深度适配特性

1. 洁净环境兼容性

• 采用全密封铝合金壳体与低发尘润滑脂，运行时发尘量 < 10 particles/ft³（0.5μm 以上颗粒），符合 ISO Class 5 洁净室标准。

• 标配 IP4X 防护等级，可选 ESD 防静电涂层（表面电阻 10⁶~10⁹Ω），有效避免静电对晶圆的损伤。

2. 高精度运动控制

• 重复定位精度达**±0.02mm**，无效空转 < 0.1mm，满足芯片键合、检测等纳米级工艺需求。

• 支持 7 点定位、63 点定位及脉冲串输入三种控制模式，通过 EC63 型控制器可实现复杂路径规划（如螺旋线、椭圆插补）。

3. 智能监控与预防性维护

• 内置温度、负载传感器，通过专用软件实时监测状态，提前预警丝杠磨损、电机过热等潜在故障。

• 采用 “带润滑辅助装置的滚珠丝杠"，维护周期延长至传统型号的 3 倍以上，降低停机成本。

三、驱动与控制解决方案

1. 多协议兼容驱动系统

• 标配 EC07/EC63 型控制器，支持脉冲串输入与模拟量控制，可无缝接入 PLC、运动控制器等上位系统。

• 可选 ECPT 型控制器，支持工业以太网协议，通信周期低至 1ms，实现多轴同步控制（如 4 轴联动）。

2. 智能调试工具链

• 配套软件提供可视化编程界面，支持点动、微动、轨迹模拟等功能，参数整定时间缩短 60% 以上。

• 开放 Python API 接口，方便与客户自研控制系统集成，实现工艺参数的灵活配置。

四、典型应用场景

1. 晶圆检测与量测

• 驱动光学探头以 ±0.02mm 定位精度进行 360° 扫描，配合机器视觉实现晶圆表面缺陷微米级识别。

• 在电子束曝光设备中，与激光干涉仪闭环控制，实现 ±0.05μm 定位精度。

2. 芯片封装与键合

• 驱动引线键合头以 600mm/s 速度完成引脚焊接，良率提升至 99.8% 以上。

• 通过 63 点定位功能，实现倒装芯片凸块与基板的柔性压合。

3. 微型机械臂与精密搬运

• 驱动六轴机械臂在晶圆盒与工艺腔室间实现 ±0.02mm 重复定位，支持每小时 200 片晶圆吞吐量。

• 集成力控算法，检测晶圆抓取时的微小应力变化，防止碎片风险。

五、技术参数与选型指南

• 行程范围：50~700mm（ERL2-45 系列）、50~500mm（ERL2-60 系列）。

• 最大推力：220N（ERL2-45E06）、640N（ERL2-60E06）。

• 最高速度：300mm/s（ERL2-45E06）、200mm/s（ERL2-60E06）。

• 适用场景：

• ERL2-45 系列：精密检测、芯片键合等轻负载场景。

• ERL2-60 系列：大负载传输、封装机械臂等重负载场景。

六、安装与维护策略

1. 精密安装规范

• 安装基面平面度需≤0.05mm/m，建议使用激光干涉仪校准。

• 采用柔性联轴器（如梅花联轴器），避免刚性冲击损坏丝杠，轴向偏差≤0.05mm，径向偏差≤0.03mm。

2. 预防性维护方案

• 每运行 200 小时检查编码器线缆接口，确保屏蔽接地电阻 < 1Ω，防止高频干扰影响精度。

• 每 6 个月清洁散热孔，避免粉尘堆积导致散热效率下降（建议使用洁净氮气吹扫）。

七、差异化竞争优势与技术支持

1. 成本与交付优势

• 价格较同类产品低 15-20%，同时保持相近的定位精度（±0.02mm），适合中端市场需求。

• 常规型号备货充足，交货周期仅 7-10 天，较同类产品缩短 60%。

2. 定制化能力

• 可提供真空兼容版本（内部气压 < 10⁻⁵Pa）及特殊法兰接口，适配半导体工艺腔室环境。

• 支持多轴同步控制算法定制，可匹配客户特定工艺需求（如光致抗蚀剂涂覆的旋转速度曲线优化）。

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