日本CKD喜开理延迟真空电磁阀HVL12
接口选择：需根据管路尺寸匹配 Rc 螺纹或双卡套接头，例如半导体设备常用 NW10.16 真空夹紧接头，可对应选型代码为 “7S10" 的型号。
电压匹配：工业自动化设备优先选择 DC24V 型号，传统动力系统可适配 AC100V/200V 规格，选型时需确认设备电源波动范围是否在 ±10% 以内。

产品型号：HVL12-4S6-5-AC100V

更新时间：2025-10-09

厂商性质：经销商

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一、核心参数

HVL12 系列采用直动式结构与特殊密封技术，在真空保持与延迟控制方面表现突出，关键参数如下表所示：

参数类别	具体规格	说明来源
基础参数	节流孔径：1.2mm配管口径：Rc1/8、1/4″双卡套接头、NW10.16 真空夹紧接头Cv 值：0.05
真空性能	使用压力范围：1.3×10⁻⁶～2.0×10⁵Pa（abs）阀座泄漏量：≤1.3×10⁻⁹Pa・m³/s（He）外部泄漏量：≤1.3×10⁻⁹Pa・m³/s（He）
压力特性	最高工作压力差：0.2MPa耐压力：0.5MPa
电气参数	额定电压：DC24V、AC100V、AC200V电压波动范围：额定电压 ±10%功耗：4W延迟时间：AC≤8s、DC≤10s（误差 ±35%）
环境适配	流体温度：5～50℃环境温度：0～50℃适用流体：干燥空气、氮气
物理参数	安装方式：自由安装重量：AC 型 0.5kg、DC 型 0.2kg（Rc1/8 接口）动作频率：≤0.5 次 / 分钟

注：流体需保持干燥，否则可能显著缩短产品耐久性；DC 型具有极性，需按红正黑负接线。

采用特殊密封材质与阀座结构设计，泄漏量控制在 1.3×10⁻⁹Pa・m³/s 以下，可满足高真空系统的严苛要求。在半导体晶圆制造等场景中，能有效防止外部杂质侵入真空腔室，避免产品污染导致的良率下降。同时，断电后可维持真空状态，配合延迟功能实现腔室保护。

内置断电延迟模块，可根据电压类型设定 8 秒（AC）或 10 秒（DC）的延迟时间，精准控制真空腔室的大气开放时序。在真空镀膜设备中，能确保真空泵与腔室之间的管路先泄压，再开放大气，避免停电时油分倒灌污染腔室，降低设备维护成本。

采用薄型线圈与一体化阀体设计，重量最轻仅 0.2kg，且支持自由安装方式，可灵活嵌入真空镀膜机、电子束加工机等空间受限的设备内部。搭配多种标准化真空接头，能快速与现有管路对接，减少安装工时。

覆盖从高真空（1.3×10⁻⁶Pa）到常压（2.0×10⁵Pa）的全压力范围，适配空气、氮气等多种惰性气体介质。提供 DC24V、AC200V 等常见电压选项，可直接匹配工业设备的电源系统，无需额外配置变压器。

CKD HVL12 系列型号采用模块化编码规则，通过后缀组合明确产品规格，以典型型号HVL12-4S6-5-AC200V为例，各部分含义如下：

型号分段	代码含义	可选规格示例
HVL12	系列代号：HVL 表示延迟真空电磁阀，12 为基础型号标识	固定为 HVL12
4S6	结构参数：前两位表示节流孔径相关规格，后一位为配管接口类型	4S6（Rc1/8 接口）、5S8（1/4″双卡套）
5	安装与功能选项：代表标准安装方式及基础功能配置	5（标准型）、6（带手动应急机构）
AC200V	电气规格：明确额定电压类型与数值	DC24V、AC100V、AC200V