日本CKD高真空用电磁阀HVB
日本 CKD HVB 系列高真空用电磁阀，是专为高真空系统精准控制开发的直动式 2 通阀件，核心优势在于1×10⁻⁹Pa・㎥/s 以下的超低泄漏率，可稳定适配从低真空到高真空的全压力区间，是半导体制造、二次电池生产等精密工业场景的核心控制元件。

日本CKD高真空用电磁阀HVB

日本CKD高真空用电磁阀HVB

一、产品定义与核心技术优势

核心技术亮点

1. 超低泄漏真空保持技术：采用弹性密封结构与精密阀芯加工工艺，真空泄漏量控制在 1×10⁻⁹Pa・㎥/s 以下，远优于普通真空阀的泄漏标准，能有效维持真空系统的极限压力，减少抽真空时间与能耗。

2. 制程洁净材质设计：流路部与滑动部严格规避铜、锌、镍系材料及电解镀镍工艺，阀体主体采用 SUS316L 不锈钢，密封件选用耐真空的 PCTFE 等材质，避免金属离子析出污染半导体晶圆或电池极片，符合精密制造的洁净要求。

3. 全规格流量覆盖能力：提供 HVB212 至 HVB712 共 7 个型号，幅宽从 22mm 递增至 70mm，节流孔径对应 Φ1、Φ2 直至 Φ12、Φ15，Cv 值随孔径线性变化，可精准匹配不同真空管路的流量需求，无需更换阀组即可适配多工况场景。

4. 灵活可靠连接系统：标配 VCR 兼容接头（JXR 接头）与双卡套接头一体型设计，接头密封性能经过真空级验证，可直接对接真空容器与配管，避免传统连接方式的真空泄漏隐患，安装适配性更强。

二、工作原理与关键技术参数

1. 工作原理详解（以常闭型为例）

• 断电状态：电磁线圈无励磁，阀芯在复位弹簧作用下处于关闭位，通过弹性密封件紧密贴合阀座，流路切断，真空系统保持密封状态；

• 通电启动：线圈通电产生磁场，克服弹簧力吸附阀芯向上移动，阀座开启，流路导通，实现真空管路的介质输送或压力调节；

• 动作特性：直动式结构无需压差辅助，动作响应速度快，且避免了先导式结构的压力死区问题，在 0 至 1.0MPa 差压范围内均能稳定动作，适配真空系统启停及运行中的全压力变化。

2. 关键技术参数（按型号分类）

三、型号体系与适用场景

1. 型号命名规则与分类

• 型号前缀：HVB 为系列标识，代表高真空用直动式电磁阀；

• 幅宽代码：212（22mm）、312（28mm）、412（34mm）、512（40mm）、612（60mm）、712（70mm），幅宽对应阀体安装尺寸；

• 孔径规格：后缀数字代表节流孔径，如 HVB412-Φ6 表示 34mm 幅宽、Φ6 孔径型号；

• 电压标识：末尾标注 AC100V、DC24V 等电压规格，可按需定制。

2. 典型适用场景

• 半导体制造行业：Φ1-Φ3 小口径型号用于离子注入机、薄膜沉积设备的工艺气体控制，超低泄漏率避免杂质气体混入影响晶圆质量，洁净材质设计符合 SEMI 标准；

• 二次电池生产领域：HVB412-HVB612 型号适配极片真空干燥机、电解液注入设备，金属污染控制特性可防止电池自放电率升高，提升电池循环寿命；

• 真空镀膜场景：Φ8-Φ12 中口径型号用于真空镀膜机的进气控制，快速动作特性可精准调节镀膜气体流量，保证膜层均匀性；

• 实验室设备：HVB212-HVB312 小尺寸型号适配小型真空腔体、质谱仪的真空管路控制，轻量紧凑设计节省设备内部空间。

四、安装与维护要点

1. 安装规范

• 洁净预处理：安装前必须用异丙醇（IPA）或（MEK）清洗管路内壁，去除油污、粉尘及金属碎屑，避免杂质造成阀芯卡堵或密封失效，严禁使用水或商用溶剂清洗；

• 连接密封要求：采用 VCR 接头时需按规定扭矩紧固，双卡套接头需确保管材切口平整，安装后需进行氦质谱检漏，确认泄漏率符合系统要求；

• 安装方向与空间：建议垂直安装（阀芯轴线竖直），线圈朝上避免冷凝水积聚；阀体周围预留至少 5cm 散热空间，避免与高温部件直接接触；

• 电气接线规范：严格匹配额定电压，接线端子需做好绝缘密封，潮湿或粉尘环境需加装防水防尘接线盒，避免电气故障影响真空系统运行。

2. 维护保养指南

• 定期泄漏检测：每 3-6 个月使用氦质谱仪检测阀座及接头密封性能，若泄漏量超过 1×10⁻⁹Pa・㎥/s，需及时更换密封件（优先选用原厂真空级配件）；

• 阀芯清洁维护：每年 1 次拆解检查阀芯与阀座，清除附着的污染物，清洁后需重新进行密封性测试，确保无泄漏后方可 reinstall；

• 线圈状态监测：定期检查线圈温度（正常运行温度应≤60℃），若出现过热、异响等问题，需立即停机更换线圈组件，不可单独维修绕组；

• 长期停放保护：停用超过 1 个月时，需向阀体内充入干燥惰性气体（如 N₂）至常压，封堵所有接口，存放于干燥洁净环境，避免密封件老化或阀芯锈蚀。

五、选型与安全注意事项

1. 选型三要素

1. 按真空度选密封等级：超高真空系统（≤1×10⁻⁷Pa）需确认泄漏率达标，普通高真空系统可按流量需求匹配，优先选择原厂预检漏型号；

2. 按流量选孔径规格：小流量工艺控制（＜1L/min）选 Φ1-Φ3 型号（HVB212-HVB312），中流量管路（1-10L/min）选 Φ4.5-Φ8 型号（HVB412-HVB512），大流量系统（＞10L/min）选 Φ12-Φ15 型号（HVB612-HVB712）；

3. 按制程选材质兼容：半导体、电池等精密制造场景需确认材质无金属污染，腐蚀性气体环境需提前定制耐蚀衍生型号。

2. 安全警示

• 严禁在超过 1.0MPa 差压或 - 20~60℃环境温度范围外使用，避免阀体结构损坏或密封失效；

• 维修前必须切断电源并对系统卸压，待真空度降至常压后再操作，防止负压吸伤或介质喷射风险；

• 不可用于爆炸性气体环境，如需防爆需定制防爆型型号，常规型号不具备防爆能力；

• 安装与维护必须由专业真空技术人员操作，避免因操作不当导致系统真空失效或设备损坏。