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ARTICLES日本CKD半导体导向内置式活塞杆型EBR-M/G
日本CKD半导体导向内置式活塞杆型EBR-M/G
一、产品定位与核心技术
GSSD2 系列采用与 CKD 气动 SSD2 系列相同的本体结构，确保尺寸兼容性和机械刚性，同时搭载电动驱动系统，支持高精度定位与速度控制。其核心优势包括：
气动级刚性：通过金属本体与滚珠丝杆传动，实现与气动执行器相当的抗侧向负载能力，减少外部导轨依赖。
多轴控制扩展性：可连接 ECG
半导体引线键合设备的辅助运动、3C 产品的激光打标定位；
32mm 缸径（EBR-G-32）：水平最大负载 13.0kg，垂直负载 9.0kg，行程 20-200mm，重复定位精度 ±0.02mm，适用于汽车精密部件的检测定位、锂电池极片的搬运。
三、型号组成方法（以 EBR 系列为例）
EBR-M 与 EBR-G 的型号命名遵循统一规则，通过多段代码明确规格细节，完整示例：EBR-G-25-100-06-FA-N
EBR-G：系列标识，EBR 为导向内置式活塞杆型，G 代表高精度型（M 为通用型）；
25：缸径尺寸（mm），对应 16、25、32 三种规格；
100：行程长度（mm），根据缸径不同支持 20-200mm 范围；
06：导程（mm），06=6mm，09=9mm（决定运动速度与推力特性）；
FA：安装方式，FA = 前端法兰安装，E = 直接安装，FB = 后端法兰安装；
N：杆端形式，N = 外螺纹，T = 杆端带关节轴承（适应微小角度偏差）。
四、实际应用案例（分系列场景）
EBR-M 系列：某食品包装机械厂采用 EBR-M-25，用于包装膜的张力调节推送，通过内置导向避免膜材跑偏，配合 PLC 实现 0-300mm/s 的速度自适应调节，单班包装效率提升 15%，较传统气动方案减少因侧向力导致的膜材破损率 20%。
EBR-G 系列：在半导体检测设备中，EBR-G-16 配合视觉系统完成晶圆的微米级定位，其 ±0.02mm 的重复精度确保检测探针与晶圆触点的精准对接，单日检测量达 500 片，设备稼动率稳定在 98% 以上，较非导向型执行器减少 30% 的校准频次。
跨系列组合应用：某汽车传感器装配线同时采用 EBR-M-32 与 EBR-G-25，前者负责传感器外壳的搬运（负载 10kg），后者完成内部芯片的精密压装（精度 ±0.03mm），通过 ECMG 多轴控制器实现同步运动，装配节拍缩短至 3 秒 / 件，满足量产需求。
综上，EBR-M 与 EBR-G 系列通过 “导向内置" 设计打破了传统执行器对外部导轨的依赖，其中 M 系列以高性价比覆盖通用工业场景，G 系列以高精度适配精密制造需求，两者共同为空间受限、负载复杂的自动化场景提供了集成化运动控制解决方案。
五、型号规格
EBS-04ME
EBS-04MR
EBS-05ME
EBS-05MR
EBS-08ME
EBS-08MR
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