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ARTICLES日本CKD半导体通用型直驱马达小型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驱马达(AX6000M 系列)是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案,采用无齿轮直驱技术,消除传统传动链的间隙与磨损,实现**±10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括: 小型化:外径 φ80mm、高度 47mm(1.2N・m 机型),重量仅 1.2kg,可直接集成于晶圆检测探头。
更新时间:2025-10-30
产品型号:AX6000M
浏览量:136
日本CKD半导体通用型直驱马达(ABSODEX) AX1R 高精度型:分度精度达 15 秒,轴跳动≤0.01mm,适用于晶圆检测、芯片键合等精密场景。 AX2R 高速型:最高转速 300rpm,响应时间 5ms,支持高速旋转工作台与电子元件高速搬运。AX4R 大扭矩型:最大扭矩 1000N・m,可驱动大惯性负载,适用于晶圆传输机械臂与封装设备,提供电磁制动选项。
更新时间:2025-10-30
产品型号:AX1000T
浏览量:130
日本CKD半导体通用型直驱马达ABSODEX AX1R 高精度型:分度精度达 ±15 秒,轴跳动≤0.01mm,适用于晶圆检测、芯片键合等精密场景。 AX2R 高速型:最高转速 300rpm,响应时间 5ms,支持高速旋转工作台与电子元件高速搬运。AX4R 大扭矩型:最大扭矩 1000N・m,可驱动大惯性负载,适用于晶圆传输机械臂与封装设备,提供电磁制动选项。
更新时间:2025-10-30
产品型号:AX1R
浏览量:109
日本CKD半导体电动执行器滑块型KBZ 一、核心技术特性 超高速与高加速性能 采用交流伺服电机驱动,最快速度达 2500mm/s,加减速度 2G(为 CKD 传统机型的 2 倍),可大幅缩短半导体晶圆在多工位间的传输时间(如曝光、蚀刻设备中的晶圆切换)。这一特性对提升产线整体效率至关重要,尤其适用于高产能需求的量产场景。
更新时间:2025-10-30
产品型号:KBZ Series
浏览量:88
日本CKD半导体电动执行器滑块型KBX 一、核心技术特性 超高速与高加速性能 采用交流伺服电机驱动,最快速度达 2500mm/s,加减速度 2G(为 CKD 传统机型的 2 倍),可大幅缩短半导体晶圆在多工位间的传输时间(如曝光、蚀刻设备中的晶圆切换)。这一特性对提升产线整体效率至关重要,尤其适用于高产能需求的量产场景。
更新时间:2025-10-30
产品型号:KBX-T5
浏览量:122
日本CKD半导体电动执行器滑块型EKS-M 一、核心技术特性 超高速与高加速性能 采用交流伺服电机驱动,最快速度达 2500mm/s,加减速度 2G(为 CKD 传统机型的 2 倍),可大幅缩短半导体晶圆在多工位间的传输时间(如曝光、蚀刻设备中的晶圆切换)。这一特性对提升产线整体效率至关重要,尤其适用于高产能需求的量产场景。
更新时间:2025-10-30
产品型号:EKS-04M
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